諸位朋友，大家好！諾聯(lián)芯在相繼發(fā)布了一系列長光程的LARK-1L系列紅外氣體傳感器之后，又出品了一款新產(chǎn)品LARK-1M CF4，供氟化工行業(yè)、微電子行業(yè)、制冷劑行業(yè)、醫(yī)療行業(yè)使用。

1.    CF4是什么？

四氟化碳（CF4），又稱為四氟甲烷、Freon-14及R14，是一種鹵代烴。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無機(jī)化合物。

CF4的用途包括：

1．用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體，用于低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。

2．是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，四氟甲烷高純氣、小濃度高純氧的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

3．用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù)。

2.    LARK-1M CF4的特點(diǎn)

該傳感器是的特點(diǎn)如下：

1.     0 ~ 1000ppm以內(nèi)，分辨率是1ppm；

2.     線性好，R^2達(dá)到0.9999；

3.     響應(yīng)時(shí)間T90時(shí)間小于5sec，恢復(fù)時(shí)間RT90小于10sec；

4.     1小時(shí)內(nèi)，6次重復(fù)性，1000ppm處讀數(shù)極差小于3ppm；

5.     對(duì)SF6的交叉靈敏度僅為0.25%左右。

分辨率

 從上面3張圖，我們可以看出，從0~1000ppm范圍內(nèi)，該傳感器的分辨率都能夠做到1ppm，只是在第一分鐘內(nèi)，傳感器有一點(diǎn)過沖(Over Shot)。1分鐘之后，傳感器的讀數(shù)就相當(dāng)平穩(wěn)了，最大也就變化1~2ppm。

線性和精度

從上面兩張圖，我們可以得到如下結(jié)論，從0 ~ 2000ppm范圍內(nèi)，絕對(duì)最大誤差是24ppm，出現(xiàn)在1800ppm附近，相對(duì)誤差為23/1800 = 1.3%rel?？紤]到質(zhì)量流量控制器(MFC)的配氣誤差最大為1%rel，這個(gè)1.3%rel的讀數(shù)誤差已經(jīng)相當(dāng)不錯(cuò)了。

響應(yīng)時(shí)間

    上表是3只LARK-1M CF4傳感器的T90, T97, RT90和RT97的時(shí)間。T90和T97時(shí)間稍快，均小于5s，但RT90和RT97較慢，均小于8s。究其原因，是因?yàn)?/span>CF4的分子量比較大，M=88，CF4進(jìn)入光路取代N2是很快的。N2分子量比較小，M=28，用N2取代CF4是比較慢的。我們可以簡單地理解，用質(zhì)量大的球(CF4)去撞擊質(zhì)量小的球(N2)是很容易撞開的，但用質(zhì)量小的球(N2)去撞擊質(zhì)量大的球(CF4)是比較難的，需要多撞擊幾次才能達(dá)到撞開的效果，這就帶來了RT90和RT97時(shí)間的延長。

重復(fù)性

上圖是6次交替通氣N2和1000ppm CF4的重復(fù)性實(shí)驗(yàn)，每次通氣時(shí)間為5分鐘。通過曲線，我們可以看出，其重復(fù)性的絕對(duì)值可以控制在3ppm以內(nèi)。

一小時(shí)通氣實(shí)驗(yàn)

從上圖我們能夠看出，在1小時(shí)之內(nèi)，讀數(shù)的極差僅僅是3ppm。

低溫和高溫實(shí)驗(yàn)

    紅外傳感器比較怕高溫的沖擊，這是紅外傳感器的通病。但是，紅外傳感器有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)：即使高溫沖擊之后，回到常溫讀數(shù)不準(zhǔn)了，只要標(biāo)定零點(diǎn)，那么測(cè)量點(diǎn)也就跟著準(zhǔn)確起來。因此，今后如果帶有LARK-1系列傳感器在很高的溫度中使用過發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)漂移了，就可以使用重新標(biāo)定零點(diǎn)的方法。

交叉靈敏度實(shí)驗(yàn)

我們?cè)谠搨鞲衅髦许樞蛲ㄈ霃?/span>10%vol ~100%vol的SF6，得到該傳感器對(duì)SF6的交叉響應(yīng)值大約是0.025%。

聯(lián)系人：郭安波

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