諸位朋友，大家好！諾聯(lián)芯在相繼發(fā)布了低濃度的CF4傳感器和高濃度的CF4傳感器之后，又發(fā)布了一款泵吸式LARK-1M SF6 1000PPM的傳感器，專門用于進(jìn)口SF6傳感器的替代，并且其性能比進(jìn)口產(chǎn)品更優(yōu)，價(jià)格更便宜。

1.    SF6是什么？

六氟化硫（SF6），在常壓下是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃、無(wú)腐蝕的惰性氣態(tài)物質(zhì)。

-       氣體密度：6.139g/L(20℃，0.101Mpa)

-       熔點(diǎn)：-50.8℃

-       凝固點(diǎn)：-63.8℃

-       臨界溫度：45.64℃

-       臨界壓力：3.84Mpa

-       臨界密度：0.73g/cm^3

-       介電常數(shù)：1.002(25℃, 0.101 Mpa)

SF6的化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，500℃ ~ 600℃不分解，和酸、堿、 鹽、氨、水等不反應(yīng)，在電弧作用下(幾千度)分解為S和F的原子氣，電孤一旦解除，還會(huì)復(fù)合成SF6。SF6具有良好的電氣絕緣性能及優(yōu)異的滅弧性能。其耐電強(qiáng)度為同一壓力下氟氣的2.5倍，擊穿電壓空氣的2.5倍，滅弧能力空氣的100倍，是一種優(yōu)于空氣和油的新一代高壓絕緣介質(zhì)材料。

SF6以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應(yīng)用于電器工業(yè)，如：斷路器、 高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。SF6還因其化學(xué)惰性、無(wú)毒 、不燃及無(wú)腐蝕性，還被廣泛應(yīng)用于金屬冶煉（如熔融的鎂和鋁的保護(hù)、提純）、航空航天、醫(yī)療（X光機(jī)、激光機(jī)）、氣象（示蹤分析）、煤礦（巷道氣流分析）、化工（高級(jí)汽車輪胎、新型滅火器）等。電子級(jí)高純SF6是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。隨著當(dāng)今科技的發(fā)展，SF6涉及的領(lǐng)域不斷擴(kuò)展，被越來(lái)越多的基礎(chǔ)領(lǐng)域和科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

2.    LARK-1M CF4的特點(diǎn)

該傳感器是的特點(diǎn)如下：

1.     0 ~ 1000ppm以內(nèi)，分辨率<1ppm；

2.     線性好，R^2達(dá)到0.9999；

3.     響應(yīng)時(shí)間T90時(shí)間小于5sec，恢復(fù)時(shí)間RT90小于6sec；

4.     1小時(shí)內(nèi)，6次重復(fù)性，1000ppm處讀數(shù)極差小于2ppm。

分辨率

從上圖，我們可以看出，該傳感器在低濃度的時(shí)候分辨率能夠做到1ppm。

線性和精度

從上面兩張圖，我們可以得到如下結(jié)論，從0 ~ 1000ppm范圍內(nèi)，絕對(duì)最大誤差是5ppm，出現(xiàn)在500ppm ~ 800ppm附近，相對(duì)誤差為5/500 = 1.0%rel?？紤]到質(zhì)量流量控制器(MFC)的配氣誤差最大為1%rel，這個(gè)1%rel的讀數(shù)誤差已經(jīng)相當(dāng)不錯(cuò)了。

重復(fù)性

上圖是8次交替通氣N2和500ppm SF6的重復(fù)性實(shí)驗(yàn)，每次通氣時(shí)間為5分鐘。通過(guò)曲線，我們可以看出，其重復(fù)性的絕對(duì)值可以控制在3ppm以內(nèi)。

聯(lián)系人：郭安波

手機(jī)號(hào)碼：13817946390

微信號(hào)：G13817946390

郵箱：[email protected]

微信公眾號(hào)：PROMISENSE